我国国产DUV光刻机迎来里程碑式进步，套刻≤8nm

来源：YPS数据挖掘大师 2024-09-15 浏览：225 字号：T|T

摘要：感谢YPS行业门户系统网友就不喜欢香菜、CMCC、石原里美幸福、情切琛思、Autumn_Dream、特约评论员、西窗旧事、手机小鱼、活着就是改变果壳N9、chwjn_的线索投递！YPS行业门户系统9月15日消息，工业和信息化部于9月9日印发《首台（套）重大技术装备推广应用指导目录（2024年版）》通知，在文件列表包含国产氟化氪光刻机（110nm），和氟化氩光刻机（65nm）的内容。中国首台（套）重……

　　感谢YPS行业门户系统网友就不喜欢香菜、CMCC、石原里美幸福、情切琛思、Autumn_Dream、特约评论员、西窗旧事、手机小鱼、活着就是改变果壳N9、chwjn_ 的线索投递！

　　YPS行业门户系统 9 月 15 日消息，工业和信息化部于 9 月 9 日印发《首台（套）重大技术装备推广应用指导目录（2024 年版）》通知，在文件列表包含国产氟化氪光刻机（110nm），和氟化氩光刻机（65nm）的内容。

　　中国首台（套）重大技术装备是指国内实现重大技术突破、拥有知识产权、尚未取得明显市场业绩的装备产品，包括整机设备、核心系统和关键零部件等。

　　YPS行业门户系统附上这两行信息截图如下：

　　晶圆直径照明波长分辨率套刻氟化氪（KrF）光刻机300mm248nm≤110nm≤25nm氟化氩（ArF）光刻机300mm193nm≤65nm≤8nm

　　氟化氪（KrF）和氟化氩（ArF）两种气体均服务于深紫外（DUV）光刻机，产生深紫外光的准分子激光器。

　　目前来说，光刻机共经历了五代的发展，从最早的 436 波长，再到第二代光刻机开始使用波长 365nm i-line，第三代则是 248nm 的 KrF 激光。第四代就是 193nm 波长的 DUV 激光，这就是 ArF 准分子激光。

　　图源：平安证券

　　ArF（氟化氩）准分子激光源光刻机，光源实际波长突破 193nm，缩短为 134nm，NA 值为 1.35，最高可实现 7nm 制程节点。

　　浸入技术是指让镜头和硅片之间的空间浸泡于液体之中，由于液体的折射率大于 1，使得激光的实际波长会大幅度缩小。

　　套刻精度就是常说的“多重曝光能达到的最高精度”，按套刻精度与量产工艺 1:3 的关系，这个光刻机大概可以量产 28nm 工艺的芯片。

　　28 纳米光刻机，是芯片中低端和中高端的分界线，意味着工业独立，中国的空调洗衣机汽车等各类工业品，可以突破西方国家设置的重重封锁，自主生产销售。

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