韩国开建超纯水示范工厂:每天生产2400吨,用于半导体芯片制造

  YPS行业门户系统11月17日消息,根据韩国媒体BusinessKorea报道,韩国环境部于11月16日在SKSilitron工厂举办了超纯水示范工厂的奠基仪式。新工厂将验证工业用超纯水制造相关的各项技术,其中包含用于有机物去除的UV氧化系统,用于去除溶解氧的脱气系统,以及相关设备和施工方式。

  新工厂建在半导体制造商的工厂内,在技术验证期间也能供应超纯水,韩国计划在2025年之前完成技术验证,目的是减少对于外国技术的依赖。

  这家工厂的目标是每天生产2400吨超纯水,此外远期目标是将生产和运营过程中进口设备的使用率降低至0%,技术和设备采购方面的进口依赖程度降低到40%。

  YPS行业门户系统了解到,超纯水是半导体芯片制造过程中必不可少的,台积电每天需要用到大量的超纯水对晶圆表面进行清洁。这种水内部的有机物含量需要低于0.01ppm(百万分之一)。此前,韩国一直依赖从法国和日本进口超纯水。

  外媒预计,与电子、医药、钢铁、半导体相关的全球超纯水市场,预计到2024年将达到23万亿韩元(约1244亿元人民币)。其中半导体相关的超纯水市场规模,估计会达到4.4万亿韩元(约238亿元人民币)。

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  关键词:超纯水,芯片,半导体

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